 |
Главная Назад | ||
| Автор: | Борисенко В. Е., Воробьева А. И. |
| Название: | Наноэлектроника: В 3-х ч. Ч. 2. Нанотехнология |
| Описание: | Учебное пособие составлено на основе курса лекций «Нанотехнологня», читаемого студентам специальности «Микроэлектроника» дневной формы обучения. Во второй части рассмотрены основные известные и нетрадиционные методы изготовления наноразмерных структур и функциональных слоев на их основе. |
| Скачать | |