| Автор: | Палатник Л. С., Сорокин В. К. | | Название: | Материаловедение в микроэлектронике | | Описание: | В книге освещены основные вопроси материаловедения в области микроэлектроники. Рассматриваются поверхностные свойства полупроводников, металлов и диэлектриков, вопросы адсорбции из поверхности газов и паров, вопросы диффузии и приповерхностный слой примесей, а также методы нанесения и свойства пленочных материалов: проводящих, сверхпроводящих, магнитных, резистивных пленок и эпитаксиальных пленок кремния.
Книга предназначена для широкого круга научных и инженерно-технических работников, а также может служить в качестве учебного пособия по теоретическим проблемам конструирования и производства микросхем для студентов и аспирантов вузов. | |
| | Скачать |
|
